QUANTAX微区光谱仪

新的快速样品台专为SEM设计,可实现在毫米到厘米尺度上进行大面积面分析。这将消除与低放大倍率面分析相关的X射线强度变化伪影,从而增强以前不可能在有限时间得到的元素和矿物学信息。

观察样品中元素变化的能力对于了解地质过程和矿床成因非常重要。在扫描电镜上集成了微区光谱仪的双束系统可在大面积样品上进行元素X射线面分析,从而在ppm尺度上显示主要,次要和痕量元素。

微区光谱仪与SEM的结合使我们能在单一系统中以多个尺度分析样品,从厘米到毫米,甚至到微米和以下。因此,通过将微区光谱仪添加到SEM,可以将SEM转换为双束系统,这意味着有2个信号激发源,即电子束和X射线光束。任何一个束源都可以单独使用,也可以同时用于激发样品产生X射线,而这些样品将使用相同的EDS探测器进行测量。

在这里,我们展示了一个SEM-XRF元素分布图,该图来自含钻石的纽兰兹金伯利岩(南非,卡普瓦尔克拉顿)的地幔石榴石和橄榄石。各种元素的强度分布显示样品中存在的某些矿物质。

具有粗糙表面的样品可以使用SEM-XRF执行大面积面分析(HyperMap)。当使用微区光谱仪进行表征的时候,样品几乎不需要制备,可以直接分析样品。这一点在土壤分析中尤其重要，因为任何形式的样品制备（如镶样和抛光或碳涂层）都可能会改变样品。

X射线可以穿过物质,因此X射线荧光(光谱仪)可以用来确定薄膜样品的层厚度。在扫描电镜上使用微区光谱仪,可以用微米尺度的空间分辨率进行层分析(厚度和组成)。层分析的基础是使用原子基础参数(FP)对每一层的成分进行定量。