软件：esprit系列
四种，一个工作流
esprit 2将种方法在单用户界面下其中包括包括sem和（s）tem的eds，wds，，于SEM的微区xrf和EBSD。，用户这样单击鼠标可在在切换。。此外此外此外此外此外此外此外此外。。将将来自来自同一样本本区域区域不同不同不同方法方法采集结果相的组合，以下只最的几：
- Eds和EBSD
- eds和wds
- sem的eds和微区xrf
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