电子显微镜分析仪

Quantax Micro-XRF

微量元素灵敏度,样品制备最少

即使在大面积上也能进行高速元素X射线成像

膜厚分析

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纳杰瓦·尼耶泽信息中心

10 ppm.
检出限
由于光谱背景较低,因此能够进行微量元素分析
4毫米/秒
行驶速度
可选的快速阶段可在大面积上实现高速绘图
1nm - 40μm
层厚范围
可以分析从1nm到40µm多层结构的薄膜

Micro-XRF作为SEM中的EDS分析的互补分析技术

  • 微X射线荧光(微XRF)光谱分析是使用扫描电子显微镜(SEM)的传统能量分散光谱(EDS)分析的互补的非破坏性分析技术。这种分析对于在从大厘米尺寸的不均匀样品中缩小到小微米颗粒的未知样品中的元素组合物的表征是重要的。
  • X射线激励产生微量元素检测的更高灵敏度(低至低于10 ppm.对于某些元素),扩展的X射线光谱范围(高达40 kev),以及来自样本内更深度的信息。
  • 配备有X射线管和微聚焦X射线光学器件,产生的光斑尺寸小30µm强度吞吐量高。
  • 专门设计用于安装在现有SEM阶段的模块化的压电阶段,使大型区域的高速元素X射线映射“在飞行中”速度高达速度4毫米/秒。这使得能够在50 X 50 mm(或更高)的样本大小上采集X射线成像数据,并将轻元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量的X射线数据合并到一个快速且用户友好的工作流程中。
  • X射线激发的深度越大,多层体系的表征就越容易1纳米,范围可达40µm,这在电子激发下是不可能的。

Korzyści.

利用Micro XRF和Rapid Stage扩展您的SEM分析能力

  • 双束势,电子束和X射线束,为材料表征提供了新的可能性-同时使用两种源调查样品。
  • 使用相同的检测器用于同时电子束/微XRF采集,包括光元素光谱数据以及跟踪元件和/或更高的能量X射线数据。
  • 种族和快速阶段无缝集成到ESPRIT软件.
  • 组合EDS和MICR-XRF定量通过将电子激发的更好的光元素灵敏度与XRF的更好的微量元素灵敏度相结合,使得更完整的样本表征。
  • 同时使用micro XRF和电子束激发进行映射,结合了两者的优点。使用电子束和micro XRF激发轻元素(碳到钠)和重元素。
  • 分离的峰和扩展的光谱范围使人们能够看到高能K线,因为它们比较复杂,重叠也比较少。
  • 最低样品制备-无导电样品表面,无需大量抛光
  • 标准和基于标准的量化。

阿皮卡奇

即使在µm范围内的低浓度水平下也含有轻元素和重元素

来自智利El Tesoro矿的外来铜样品。

矿物学样本的大面积映射

新的快速阶段专门为SEM设计,使大面积映射超过毫米(mm)到厘米(cm)尺度。这将消除与低放大率映射相关的潜在的SEM X射线强度变化伪像,从而在以前不可能的不间断的庄园中增强元素和矿物学信息。
外来铜矿样品的大面积地图。

Exotic-Cu沉积物中的元素和矿物分布

观察样品中元素变化的能力对于理解地质过程和矿床成因非常重要。双源系统(在SEM上结合了微XRF)能够在大面积上绘制元素X射线图,显示ppm尺度上的主要、次要和微量元素。
来自卡朗班腾金矿的样本在新西兰。

勘探和采矿的双源应用:含金低温热液样品

Micro-XRF与SEM的组合使得能够在多个刻度下分析样品,从厘米(cm)到毫米(mm)到微米(μm)和下面的孤立系统。因此,通过将Micro-XRF添加到SEM,将SEM转换为双源系统,这意味着有2个激励源,电子束和光子束。源源可以单独使用,或同时使用,生成将使用相同的EDS检测器测量的样本X射线。
含金刚石榴辉岩的大面积地图。

地幔岩石学与金刚石的来源

我们展示了来自含金刚石纽兰金伯利岩(南非卡普瓦尔克拉通)的地幔石榴石-尖晶石橄榄岩的SEM-XRF元素图。各种元素的强度表明样品中存在某些矿物。
土壤样本的大面积地图。

土壤中污染物和毒素的鉴定

使用SEM-XRF的大面积映射(Hypermap)可在具有地形的样品上执行。也就是说,需要最少的样品制备,并且可以直接分析样品而无需任何脱脂。这在土壤分析中尤其重要,因为任何形式的样品制备,如安装和抛光或碳涂层,都可能改变样品。
CIGS结构

薄膜的SEM-micro-XRF分析

由于X射线可能通过物质,X射线荧光(XRF)允许确定层厚度。在SEM上使用Micro-XRF,层分分析(厚度和组成)在微米刻度下具有空间分辨率可行。层分析基于使用原子基础参数(FP)的量化。

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快速阶段

快速阶段可以安装在SEM阶段的顶部,以便在大型样本区域上快速绘图。