QUANTAX Micro-XRF
微量元素在最小样品制备条件下的灵敏度
高速元素x射线测绘，甚至在大面积
膜厚度分析
洛马斯destacado
10 ppm
检出限
由于光谱背景较低，可以进行微量元素分析
4毫米/秒
旅行速度
可选的快速阶段允许在大范围内进行高速映射
1 nm - 40µm
层厚度范围
可以分析从1 nm到40µm的多层结构的薄膜
微x射线荧光光谱作为扫描电镜中EDS分析的补充分析技术
- 微x射线荧光(Micro- XRF)光谱分析是对传统扫描电子显微镜(SEM)能量色散光谱(EDS)分析的一种补充非破坏性分析技术。这种分析对于未知样品(从厘米大小的不均匀样品到微米大小的颗粒)的元素组成的表征是重要的。
- x射线激发对微量元素探测的灵敏度要高得多(低至10 ppm(某些元素)，扩展x射线光谱范围(高达40kev)，以及样本内部更深层的信息。
- 配备一个x射线管结合一个微聚焦x射线光学产生小的光斑大小30µm具有高强度的吞吐量。
- 一个模块化的基于压电的舞台，专门设计安装在现有的SEM舞台的顶部，使高速元素x射线测绘在大的区域“飞行”的速度高达4毫米/秒．这使得在50 x 50毫米(或更高)的样本大小上获得x射线制图数据成为可能，在一个快速和用户友好的工作流程中纳入了光元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量的x射线数据。
- 更大的x射线激发深度允许从表征多层系统开始1 nm, 40µm，这在电子激发下是不可能的。
锻炼耐力
利用Micro-XRF和Rapid Stage扩展您的SEM分析能力
- 双束流势，电子束流和x射线束流，为材料表征提供了新的可能性——同时用两种源研究样品。
- 使用同一探测器同时进行电子束/微xrf采集，结合光元素光谱数据以及微量元素和/或高能x射线数据。
- XTrace和快速的阶段无缝集成在精灵软件．
- 结合EDS和微XRF定量，结合电子激发的更好的光元素灵敏度和XRF更好的微量元素灵敏度，使样品表征更完整。
- 同时用微x射线荧光和电子束激发绘图，结合了两个世界的优势。用电子束激发轻元素(碳到钠)，用微量x射线荧光光谱激发重元素。
- 单独的峰和扩展的光谱范围使能看到高能K线，因为它们不那么复杂，也不那么重叠。
- 最小样品准备-样品表面不导电，不需要大量抛光
- 无标准和基于标准的量化。
