电子显微镜分析仪

Quantax Micro-XRF

微量元素灵敏度与最小样品制备

高速元素x射线映射,甚至在大区域

膜厚度分析

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做marquants

10 ppm.
检测极限
由于光谱背景较低,可以进行痕量元素分析
4毫米/秒
旅行速度
可选的快速阶段允许在大范围内进行高速映射
1nm - 40μm
层厚度范围
可以分析从1 nm到40 μ m的多层结构的薄膜

Micro-XRF作为SEM中的EDS分析的互补分析技术

  • 微X射线荧光(微XRF)光谱分析是使用扫描电子显微镜(SEM)的传统能量分散光谱(EDS)分析的互补的非破坏性分析技术。这种分析对于在从大厘米尺寸的不均匀样品中缩小到小微米颗粒的未知样品中的元素组合物的表征是重要的。
  • X射线激励产生微量元素检测的更高灵敏度(低至低于10 ppm.对于某些元素),扩展x射线光谱范围(高达40 kev),以及来自样本内更深度的信息。
  • 配备了一个x光管结合微聚焦x光光学产生小的斑点大小30µm强度吞吐量高。
  • 专门设计用于安装在现有SEM阶段的模块化的压电阶段,使大型区域的高速元素X射线映射“在飞行中”速度高达速度4毫米/秒.这使得获取超过50 x 50毫米(或更高)的样品尺寸的x射线绘图数据,在一个快速和用户友好的工作流程中结合轻元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量的x射线数据。
  • 更大的x射线激发深度允许表征多层系统从1 nm,最大µm为40,这在电子激发下是不可能的。

优点之一

扩展您的SEM分析能力与微xrf和快速阶段

  • 双束势,电子束和x射线束,为材料表征提供了新的可能性-同时用两种源研究样品。
  • 使用相同的检测器用于同时电子束/微XRF采集,包括光元素光谱数据以及跟踪元件和/或更高的能量X射线数据。
  • XTrace和快速的阶段无缝集成在ESPRIT软件
  • 组合EDS和MICR-XRF定量通过将电子激发的更好的光元素灵敏度与XRF的更好的微量元素灵敏度相结合,使得更完整的样本表征。
  • 同时使用微xrf和电子束激励进行绘图,结合两者的优势。用电子束激发轻元素(从碳到钠),用微xrf激发重元素。
  • 分离的峰值和扩展的光谱范围使其能够看到高能量K线,因为它们不太复杂,重叠较少。
  • 最小样品准备-不需要导电样品表面和广泛的抛光
  • 标准和基于标准的量化。

应用程序

即使在低浓度水平上,也能结合轻重元素

来自智利El Tesoro矿的异国铜样本。

矿物学样本的大面积映射

新的快速阶段专门为SEM设计,使大面积映射超过毫米(mm)到厘米(cm)尺度。这将消除与低放大率映射相关的潜在的SEM X射线强度变化伪像,从而在以前不可能的不间断的庄园中增强元素和矿物学信息。
一个外来铜矿样品的大面积分布图。

Exotic-Cu沉积物中的元素和矿物分布

观察样品中元素变化的能力对于了解地质过程和矿床成因很重要。该双源系统在扫描电子显微镜上结合了微型xrf,可以在大范围内绘制元素x射线图,可以在ppm尺度上显示主要、次要和微量元素。
来自卡朗班腾金矿的样本在新西兰。

双源在勘探和采矿中的应用:含金低温热液样品

Micro-XRF与SEM的组合使得能够在多个刻度下分析样品,从厘米(cm)到毫米(mm)到微米(μm)和下面的孤立系统。因此,通过将Micro-XRF添加到SEM,将SEM转换为双源系统,这意味着有2个激励源,电子束和光子束。源源可以单独使用,或同时使用,生成将使用相同的EDS检测器测量的样本X射线。
含金刚石榴辉岩的大面积图。

地幔岩石学与钻石的来源

我们给出了来自南非卡普瓦尔克拉通纽兰兹金柏岩的地幔石榴石尖晶石橄榄岩的SEM-XRF元素图。各种元素的强度表明样品中存在某些矿物质。
土壤样本的大面积地图。

土壤中污染物和毒素的鉴定

使用SEM-XRF可以对具有地形的样本进行大面积制图(Hypermaps)。也就是说,只需要少量的样品制备,样品可以直接分析而不产生任何降解。这尤其适用于土壤分析,任何形式的样品制备,如安装和抛光或碳涂层,都可能改变样品。
香烟结构

用SEM微x射线荧光分析薄膜

由于X射线可能通过物质,X射线荧光(XRF)允许确定层厚度。在SEM上使用Micro-XRF,层分分析(厚度和组成)在微米刻度下具有空间分辨率可行。层分析基于使用原子基础参数(FP)的量化。

附件

快速的阶段

快速阶段可以安装在SEM阶段的顶部,以便在大型样本区域上快速绘图。