表面形貌

掠入射小角散射（GI-SAXS）于1987年引入，用于探测表面和近表面区域的结构细节。在临界角以下，入射光束经历全外反射，散射信号来自空气样品界面下方前几埃的结构排列。增加入射角会导致入射光束的穿透深度逐渐增加。这进而导致散射体积增加，从而产生表面敏感散射信号。如果该入射角大于临界角，则穿透深度急剧增加。最后，体感散射信号占主导地位，表面感散射信号消失。因此，入射角的变化可用于无损深度剖面。这种物理现象也用于X射线反射率（XRR）测量，这是一种广泛用于测定垂直于表面法线的薄非晶和晶体层的粗糙度、周期性和厚度的技术。与XRR相比，GI-SAXS测量提供了有关面内相关性和粗糙度的更直接的信息，这两个参数都是表征多层涂层的重要参数。

掠入射小角X射线散射（GI-SAXS）是一种将掠入射几何结构的表面敏感特性与探测小角区域的散射范围相结合的技术，该小角区域提供了关于表面层内纳米结构和纳米颗粒的信息。理想情况下，散射收集在2D探测器上，因为它可以访问横向和垂直纳米结构。