表面形貌

掠入射小角度散射(GI-SAXS)于1987年被引入，用于探测地表和近地表的结构细节。在临界角以下，入射光束经历全外反射，散射信号来自于空气样品界面以下的前几个埃的结构安排。随着入射角的增大，入射光束的穿透深度逐渐增大。这又会导致散射体积的增加，从而导致表面敏感散射信号的增加。如果这个入射角大于临界角，则穿透深度急剧增加。最后，体积敏感的散射信号占主导地位，表面敏感信号消失。因此，入射角的变化可用于非破坏性深度剖面。这种物理现象也被用于x射线反射率(XRR)测量，这是一种广泛用于测定垂直于表面法线的薄非晶层和晶体层的粗糙度、周期性和厚度的技术。与XRR相比，GI-SAXS测量提供了关于面内相关性和粗糙度的更直接的信息，这两个参数都是表征多层涂层的重要参数。

掠入射小角度x射线散射(GI-SAXS)是一种结合掠入射几何形状的表面敏感性和探测小角度区域的散射范围的技术，该区域提供了表面层内纳米结构和纳米颗粒的信息。散射是理想的收集在一个二维探测器，因为它提供了访问横向和纵向纳米结构。