表面形貌

掠入射小角散射(GI-SAXS)是1987年引入的一种探测地表和近地表结构细节的方法。在临界角以下，入射光束经历全外反射，散射信号来自于气样界面以下的前几个埃的结构安排。增加入射角会使入射光束的穿透深度逐渐增加。这反过来又导致散射体积的增加，从而导致表面敏感散射信号的增加。如果这个入射角大于临界角，则侵彻深度急剧增加。最后，体敏散射信号占主导地位，面敏散射信号消失。因此，入射角的变化可用于非破坏性深度剖面。这种物理现象也用于x射线反射率(XRR)测量，这是一种广泛用于测定垂直于表面法线的薄非晶和结晶层的粗糙度、周期性和厚度的技术。与XRR相比，GI-SAXS测量提供了更直接的平面内相关性和粗糙度信息，这两个参数都是表征多层涂层的重要参数。

掠入射小角度x射线散射(GI-SAXS)是一种结合掠入射几何结构的表面敏感特性和探测小角度区域的散射范围的技术，该区域提供了纳米结构和纳米颗粒在表面层中的信息。理想的散射是在2D探测器上收集，因为它提供了横向和垂直的纳米结构。