表面形貌

掠入射小角散射(GI-SAXS)于1987年被引入，用于探测表面和近表面区域的结构细节。在临界角以下，入射光束经历全外反射，散射信号来自于空气样品界面以下前几埃的结构布置。增加入射角使入射光束的穿透深度逐渐增加。这反过来又引起散射体积的增加，从而产生表面敏感的散射信号。当入射角大于临界角时，穿透深度急剧增加。最后，体积敏感散射信号占主导地位，表面敏感信号消失。因此，入射角的变化可用于非破坏性深度剖面。这种物理现象也被用于x射线反射率(XRR)测量，这种技术广泛用于测定垂直于表面法线的薄非晶和结晶层的粗糙度、周期性和厚度。与XRR相比，GI-SAXS测量提供了关于平面内相关性和粗糙度的更直接的信息，这两个都是表征多层涂层的重要参数。

掠入射小角度x射线散射(GI-SAXS)是一种将掠入射几何的表面敏感性与探测小角度区域的散射范围相结合的技术，该区域提供了关于表层内纳米结构和纳米颗粒的信息。散射被理想地收集在二维探测器上，因为它可以访问横向和垂直纳米结构。