表面形貌

1987年引入了放牧发病率小角度散射（GI-SAXS）以探讨表面和近表面方案的结构细节。在临界角度以下，入射光光束经历总外反射，并且散射信号由空气界面下方的前几盎格的结构布置产生。增加入射角导致入射光束的渗透深度逐渐增加。这反过来导致散射量的增加，从而导致表面敏感散射信号。如果这种入射角变大于临界角度，则渗透深度急剧增加。最后，散装敏感散射信号变得优势，表面敏感信号消失。因此，入射角的变化可用于非破坏性深度分析。该物理现象还用于X射线反射率（XRR）测量，该技术广泛用于确定垂直于表面正常的薄无定形和晶体层的粗糙度，周期性和厚度。与XRR相比，GI-SAXS测量提供了有关面内相关性和粗糙度的更直接信息，这两个重要参数都是多层涂层表征的重要参数。

放牧发射小角度X射线散射（GI-SAX）是将放牧入射几何形状的表面敏感性与探测小角度区域探测的散射范围相结合的技术，该散射范围在表面层内提供有关纳米结构和纳米颗粒的信息。在2D检测器上理想地收集散射，因为它可以进入横向和垂直纳米结构。