Cryosas

CryoSAS内置了一个布鲁克高性能的傅立叶红外光谱仪,闭循环的低温制冷技术,不需要液氦。所有CryoSAS部件都是最先进的,其最新的技术满足了多晶硅生产环境中的艰难分析工作。CryoSAS能够实现高水平的全自动操作,包含准确的报告及分析结果。

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产品特点包括：

高灵敏度：

CryoSAS依据ASTM /半MF1630标准分析浅层杂质(例如硼、磷等等),浓度可低至项目前期技术援助水平。此外,依据ASTM /半MF1391标准,可以分析碳/氧含量,浓度可低至ppba水平。

闭循环低温制冷系统：不需要耗费昂贵的低温制冷剂

高可靠性的闭循环低温系统冷却检测器和样品仓。与液氦制冷系统相比,闭循环系统每年可以节省制冷操作费用50000欧元,甚至更多。

不锈钢设计样品仓：
方便样品替换

样品仓配有稳定的光学系统及自动样品头。样品仓内部的大尺寸方便样品架进入。

机械泵及涡轮泵的结合：
简单清洁的真空系统

使用快速可靠的机械泵和涡轮泵抽真空。

坚固的9个样品支架及精密的步进马达：

稳定的转移平台及支架支持多样品分析，高性能马达及固体机械系统确保精确的样品测试。样品及样品架在样品仓内的安装非常容易。特殊设计的镀金OFHC铜样品架保证了温度的均一性。

易用性：

CryoSAS提供了适用于工业环境的简易操作。所有的真空和制冷系统都由程序控制。冷却和开始测量是简单的按钮操作。操作者无需是光谱仪专家或者真空系统专家。

专用的CryoSAS软件完全根据工业质量控制设计。它可以通过触摸屏操作。操作者只需选择想要的分析方法、输入样品信息，然后按下开始按钮即可启动测量。CryoSAS可以全自动的冷却样品并开始红外测量,评价结果,生成分析报告。

技术参数

光谱范围:1500 - 280厘米^－1检测器最佳的测试范围

• 依据ASTM /半MF1630标准测试单晶硅的III族和V族浅层杂对于3毫米厚的楔形样品,可达检测限为:
  - 10项目前期技术援助磷
  - 30项目前期技术援助硼

• 依据ASTM /半MF1391标准测试替代碳。此方法需要FZ法制备的无碳标准样品以及厚度和表面都可比的待测样品。对于厚度为3毫米的楔形样品,碳浓度检测下限达20 ppba