CryoSAS

CryoSAS vereint die Leistungsfähigkeit von Bruker ft - ir - spektrometer mit integrerter "closed cycle" Technik, die as Abkühlen der Proben and Detektors ohne flüssiges Helium ermöglicht。所有CryoSAS-Komponenten都属于新技术公司，并在bewährten Technologien, die eine and spruchsvolle Analytik属于siliziumproduction ermöglichen。CryoSAS verfügt über ein hohes Maß an Automation einschließlich der automatischen Erstellung des Analysereports。

Herausragende Merkmale:

Hohe Empfindlichkeit:

CryoSAS分析器flache Störstellen (z. B. Bor, Phosphor等)nach ASTM/SEMI MF1630 bis hinab in den niedrigen ppta-Bereich。Simultan zur analysis der flachen Störstellen können under Anwendung des ASTM/SEMI MF1391-Standards Kohlenstoff and Sauerstoff bis in den niedrigen ppba Bereich analysiert werden。

geschlosene kryogene Kälteanlage: keine teuren flüssigen kryogene erforderlich

Hochzuverlässiges Closed-Cycle-Kryokühlsystem für detktor -和Probenkammerkühlung。我想请您在flüssigen Helium-gekühlten Kälteanlage上查看您的克莱斯勒系统，50000欧元，Betriebskosten pro Jahr and noch ehr aren。

埃德尔斯塔:komfortabler Probenzugriff

Bewährtes probenram - design mit stationärer Optik和automatisiertem Probenkopf。Der groe ße Innendurchmesser des Probenraums erlaubt einfachen Zugriff auf den Probenhalter。

Ölfreie Vor- und Turbopumpe: einfache and saubere hoch真空技术公司

Schnelles和zuverlässiges Abpumpen通过Vor- und Turbopumpe。

Robuster, präziser automatischer linearantriieb mit neunfach Probenhalter:

这是一个线性矩阵，它的概率是多少。在发动机和坚固的getrebebemechanik的Drehmoment ermöglichen eine präzise Ansteuerung de Proben and eine zuverlässige Funktion über Jahre hinweg。他们的名字叫lässt，他们的名字叫bestücken，他们的名字叫爱因斯坦，他们的名字叫爱因斯坦。我们将在hc - kupfer eine gleichmäßige上提交关于Probenhalters的设计方案，温度较低。

Einfachste Bedienung:

CryoSAS ist optimiert für den Einsatz im industriellen Umfeld。真空和温度的变化会影响我们的健康。他们的Abkühlvorgang和我的können是一个简单的操作系统。在真空中，为了提高温度，安文德必须在Spektroskopie- noch中。

CryoSAS-Software是一种直观的软件，它的原理是:dafür entwickelt，它的原理是:Qualitätskontrolle zu erfüllen。安文德可能会死gewünschte分析方法auswählen，根据Probeninformationen eingeben，然后按开始按钮drücken。Daraufhin kühlt CryoSAS die Proben automatich ab, start, die inarotmessung, wertetedgebnisse aus and erstelinen analyserport。

Spezifikationen

Spektralbereich: 1500 - 280厘米^－1乐观主义者für

• flachen Störstellen der 3。和5。Hauptgruppe在einkristallinem Silizium gemäß ASTM/SEMI MF1630。Für gekeilte Proben mit dke von约3毫米的褶皱
  - 10项目前期技术援助磷
  - 30项目前期技术援助Bor
• substitutionellem Kohlenstoff能ßASTM /半MF1391。该方法可以通过vernachlässigbarem Kohlenstoffgehalt, deren Dicke和Oberflächenbeschaffenheit möglichst ähnlich进行单独的调查。Für gekeilte的测量值为3毫米，而实际测量值为20 ppba。