冷冻剂

冷冻的ft-ir ft-ir분광기와이필요않은내장된폐쇄사이클냉동냉각기술기술합니다합니다합니다합니다합니다Cryosas구성구성최첨단구성요소입증된을활용하여까다로운실리콘생산환경환경에서어려운분석을을합니다합니다합니다。冷冻症는의한보고하여자동화높은수준에서할할수있습니다있습니다。

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특징은같습니다：

고감도：

cryosas는ASTM/SEMI MF1630표준표준불순물（：예：붕소，인）을ppta수준수준분석합니다합니다。또한ASTM/SEMI MF1391표준표준따라산소를낮은낮은낮은수준수준동시합니다합니다합니다합니다합니다。

폐사이클극저온：고가고가액체저온물질필요없음

검출기및냉각위한매우신뢰수폐쇄사이클냉각시스템시스템시스템。50,000€운영비용비용비용비용해해해해해해해해해있습니다있습니다있습니다을절약절약할수수있습니다있습니다더많은

스테인레스스틸챔버디자인：
간편한샘플액세스

고정광학된헤드와입증샘플설계설계설계。샘플챔버내부은쉽게샘플액세스할수있습니다있습니다。

드라이포어및펌프：
간단하고깨끗한시스템작동

터보드래그드라이펌프를통해신뢰수있는대피대피。

9개위치홀더있는견고하고한스테퍼스테이지：

샘플홀더된한번역스테이지는샘플을허용합니다합니다。높은토크솔리드메커니즘정확한인덱싱과의신뢰할수있는기능을합니다합니다합니다。샘플은제거쉽고샘플홀더챔버에부착거의쉽습니다쉽습니다쉽습니다。hc코팅구리구리은균일한온도합니다합니다합니다합니다합니다。

사용：：

冷冻症는에서에최적화있습니다있습니다있습니다있습니다있습니다。모든진공냉동장치는장치는에제어됩니다됩니다。냉각및시작것은간단푸시작동입니다입니다입니다。사용자는또는진공필요없습니다없습니다없습니다。

Cryosas소프트웨어소프트웨어품질관리요구충족하도록되었습니다되었습니다되었습니다。사용하기스크린통해조작수있습니다있습니다。사용자는하는방법을선택샘플정보입력시작버튼을눌러야합니다합니다。Cryosas는는으로을냉각적외선을시작결과를평가평가하고분석보고서를만듭니다만듭니다。

사양

스펙트럼：1500 - 280厘米^-1의검출에최적화

• ASTM/SEMI MF1630에에의의의그룹iii및v얕은불순물。약두께쐐기의경우。
  3mm，다음다음에할수：
  -10 PPTA인
  -30 PPTA붕어
• ASTM/SEMI에따른대체탄소
  MF1391。이방법시편과한두께및특성가진탄소없는없는없는없는없는참조참조샘플이합니다합니다합니다합니다。3mm인인쐐기시료의경우경우탄소탄소탄소농도가농도가농도가농도가농도가농도가농도가농도가까지까지까지있습니다있습니다있습니다。