CryoSAS

勒CryoSAS associe un spectromètre IRTF performant intégré et un ensemble de refroidissement en circuit fermé sans apport d'hélium liquide. Le CryoSAS intègre des composants à la pointe de la technologie qui afin de faire des analyse de silicium dans un milieu exigeant. Le CryoSAS est opérationnel dans une automatisation élevé en incluant la production de rapports précis sur les résultats de chaque analyse.

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Fonctionnalités :

Grande sensibilité :

勒CryoSAS analyse les impuretés superficielles (exemples : bore, phosphore, etc.) jusqu'au niveau du PPTA, en conformité avec la norme ASTM/SEMI MF1630.

融合，IL分析了Le Carbone etl'OxygèneJusqu'auniveau du ppba，enConcormortéAvecla norme astm/semi MF1391。

Système de réfrigération en cycle fermé : pas de liquide de refroidissement nécessaire

Système très fiable de refroidissement en circuit fermé pour refroidir le détecteur et l'échantillon. Par rapport à un système de réfrigération à l'hélium liquide, ce dispositif en circuit fermé permet d'économiser, sur le plan opérationnel, 50 000 € par an, voire plus.

Conception de chambre d’échantillon en inox :

Un accès facile pour les échantillons

La conception de la chambre à échantillon est approuvée avec son optique fixe et la tête d'échantillonnage automatisée. Le diamètre intérieur important de la chambre échantillon permet d'accéder facilement au plateau porte-échantillon.

Pompe primaire sèche et pompe turbo :
fonctionnement en circuit sous vide simple et propre

Évacuation rapide et fiable grâce à la pompe turbo et à la pompe primaire sèche.

Table motorisée pas à pas de haute précision et un porte échantillon de neuf positions :

Cette TableMotoriséeRobusteInterfacéeAvecle porte-échantillonpermet d'Analyzer plusieurs plusieursÉchantillons。LeMoteurà夫妇Élevé等人的翻译鲁棒将UnthernementprécisDeséchantillons倒入Un frainctionnement Plicable Surible PluseursAnnées。Le位置（安装和检索）deséchantillonsest simple et le porte-échantillonse fixe sans sans努力dans la chambreéchantillon。La Conception en Cuivre ofhc enduit d'或du porte-échantillongarantit destempératures制服。

Facilité d’utilisation :

勒CryoSAS est optimisé pour le fonctionnement dans un cadre industriel. Tous les dispositifs sous vide et de réfrigération sont placés sous le contrôle d'un centre de supervision programmable PLC. Le refroidissement et le démarrage des mesures se font en appuyant tout simplement sur un bouton-poussoir.
L'utilisateur n'a pas besoin d'être un expert en spectroscopie ou en technique du vide.
le logicieldédiédu Cryosas estconçupour tocter toutes les les du pontrov ycontrôle-qualitéindustriel。
Il s'utilise très facilement et fonctionne par le biais d'un écran tactile. Il suffit que l'utilisateur choisisse la méthode d'analyse souhaitée puis saisis les informations sur l'échantillon pour finalement appuyer sur le bouton de démarrage.
勒CryoSAS refroidit automatiquement les échantillons, lance la mesure et évalue les résultats et finalement crée un rapport d'analyse.

Caractéristiques techniques

Gamme spectrale : 1500 – 280 cm^-1optimisé pour détecter

• les impuretés superficielles des groupes III et Vdans un monocristal de Si, en conformité avec la norme ASTM/SEMI MF1630.
  

关注关注点lesÉchantillonsBiseautésqui ont uneépaisseurd'Environing 3毫米，Les限制了Suivantes dedétectiondétectionpeuventPeuvent®：
- 10 ppta pour le phosphore
- 30 ppta pour le bore

• carbone de substitution, en conformité avec la norme ASTM/SEMI
  MF1391.

Cette méthode exige un échantillon de référence FZ exempt de carbone dont l'épaisseur et les propriétés en surface sont comparables à celles de l'échantillon.
Sur un échantillon biseauté d'une épaisseur d'environ 3 mm, il est ainsi possible de détecter des concentrations en carbone pouvant descendre à 20 ppba.