CryoSAS

CryoSAS将Bruker的高性能FT-IR光谱仪与内置的闭式循环低温冷却技术相结合，不需要任何液氦。所有CryoSAS组件都是最先进的，但利用成熟的技术，在苛刻的硅生产环境中完成困难的分析。CryoSAS可以在高自动化水平上操作，包括准确报告分析结果。

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功能包括:

灵敏度高:

根据ASTM/SEMI MF1630标准，CryoSAS分析浅层杂质(如硼、磷等)至低ppta水平。此外，它同时分析碳和氧的低ppba水平，根据ASTM/SEMI MF1391标准。

闭式循环低温制冷系统:无需昂贵的液冷设备

高可靠的封闭循环低温冷却系统，用于探测器和样品室冷却。与液氦制冷系统相比，封闭循环系统每年可节省5万欧元甚至更多的运行成本。

不锈钢样品室设计:
容易得到样品

经过验证的样品室设计与固定的光学和自动样品头。大内径的样品室，使样品持有人容易访问。

干前泵和涡轮泵:
简单洁净的真空系统操作

通过涡轮拖阻泵和干前泵快速、可靠地排出。

强劲，精密的步进电机台与九位置样品持有人:

坚固的平移台接口到样品持有人允许多个样品分析。高扭矩电机和固体平移机构提供精确的样品分度和多年可靠的功能。样品易于安装和拆卸，样品支架几乎毫不费力地安装在样品室。镀金OFHC铜设计的样品持有人确保均匀的温度。

易于使用:

CryoSAS是在工业环境中操作的优化。bob娱乐平台所有真空和制冷装置都由PLC控制。冷却和开始测量是一个简单的按钮操作。用户不必是光谱专家或真空专家。

专用的CryoSAS软件旨在满足工业质量控制的需要。bob娱乐平台使用方便，可通过触摸屏操作。用户只需选择所需的分析方法，输入样品信息，然后按下开始按钮。然后CryoSAS将自动冷却样品，开始红外测量，评估结果并创建分析报告。

规范

光谱范围:1500 - 280厘米^－1优化的检测

• III组和V组浅杂质在单晶硅根据ASTM/SEMI MF1630。对于厚度约为。
  3 mm时，可达到以下检测限:
  - 10ppta磷
  - 30ppta硼
• 置换碳根据ASTM /半
  MF1391。这种方法需要一个无碳FZ参考样品，其厚度和表面性能与样品样品相当。对于厚度约为。3毫米，碳浓度可降至20 ppba。