低温硅分析系统

CryoSAS

CryoSAS硅分析仪

特性

低温硅分析系统

布鲁克光学公司的低温硅分析系统(CryoSAS)是一个专用的一体化系统,用于低温(< 15 K)硅杂质分析。CryoSAS是优化的操作在工业环境。bob娱乐平台

CryoSAS将Bruker公司的高性能FT-IR光谱仪与内置的封闭循环低温冷却技术相结合,这种技术不需要任何液氦。所有CryoSAS组件都是最先进的,但利用成熟的技术,在苛刻的硅生产环境中完成困难的分析。CryoSAS可以在高自动化水平下操作,包括准确的分析结果报告。

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功能包括:

灵敏度高:

根据ASTM/SEMI MF1630标准,CryoSAS分析浅层杂质(如硼,磷等)到较低的ppta水平。此外,根据ASTM/SEMI MF1391标准,它同时分析碳和氧到低ppba水平。

低温(~12 K)下的碳(见上)以及硼和磷(见下)的CryoSAS测量结果。

封闭式循环低温制冷系统:不需要昂贵的液体低温器

高度可靠的闭式循环低温冷却系统,用于探测器和样品室冷却。与液氦制冷系统相比,闭式循环系统每年可节省5万欧元甚至更多的运行成本。

CryoSAS低温样品室配有自动9位样品支架。
CryoSAS软件主屏幕显示当前加载的样品和选择的分析方法。

不锈钢样品室设计:
容易得到样品

经过验证的样品室设计与固定光学和自动样品头。大内径的样品室允许样品持有人容易进入。

干式前轮泵和涡轮泵:
简单清洁的真空系统操作

通过涡轮拖动泵和干式前泵快速可靠的疏散。

强劲、精密的步进电机工作台,配有九个位置的样品支架:

坚固的转换阶段接口样品持有人允许多个样品分析。高扭矩马达和坚实的平移机构提供精确的样品分度和多年的可靠功能。样品易于安装和拆卸,样品支架几乎不费力就可以安装在样品室中。镀金的OFHC铜设计的样品持有人,确保均匀的温度。

易于使用:

CryoSAS是优化的操作在工业环境。bob娱乐平台所有的真空和制冷设备都由PLC控制。冷却和开始测量是一个简单的按钮操作。用户不必是光谱学专家或真空专家。

专用的CryoSAS软件旨在满足工业质量控制的需要。bob娱乐平台使用方便,可通过触摸屏操作。用户只需选择所需的分析方法,输入样本信息,然后按下开始键。然后,CryoSAS将自动冷却样品,启动红外测量,评估结果并创建分析报告。

规范

光谱范围:1500 - 280厘米-1优化检测

  • III、V类浅层杂质根据ASTM/SEMI MF1630,单晶硅。对于楔形样品,厚度约为。
    3毫米,可达到以下检测限值:
    - 10 ppta磷
    - 30ppta硼
  • 置换碳根据ASTM /半
    MF1391。这种方法需要一个无碳FZ参考样品,其厚度和表面性质可与样品样品相媲美。对于楔形试样,其厚度约为。3毫米,可检测到碳浓度降至20 ppba。
典型的CryoSAS分析报告,包括所有相关的信息和结果。