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由于x射线可以穿透物质,所以XRF一般可以用来测定层的厚度。使用micro-XRF层分析(厚度和成分)在微米尺度上的空间分辨率是可行的。层析是一种基于原子基本参数的定量分析方法,可通过标准样品进行改进。因此,“普通”层系统,如ENEPIG涂层,ZnNi涂层,或焊料层,这些标准可以随时获得高精度测量,但也可以在研发环境中测试新型层系统。