图层厚度变化的映射
样品，两个电极在玻璃衬底上，是光诱导电解的测试装置。它由沿表面有浓度梯度的双金属单分子层组成。采用磁控溅射双cu - al靶在玻璃基板上进行镀膜。
由于x射线可以穿透物质，所以XRF通常可以测定层厚度。使用micro-XRF层分析(厚度和成分)在微米尺度上的空间分辨率是可行的。层析强烈地基于原子基本参数量化，并可以通过使用标准样品来改进。因此，“通用”层系统，如ENEPIG涂层、ZnNi涂层或焊料层，这些标准可以很容易地获得，并且可以进行高精度的测量，而且研发环境中的新型层系统也可以进行测试。
整个样本面积为5 x 5 cm²，空间分辨率为50µm，每像素测量时间为50 ms。层间元素Al和Cu的元素分布显示出明显的浓度梯度。
用5x5像素箱对Si上的Cu:Al厚度的地图数据进行量化(用于层厚分析的分辨率为250µm)。这种新型样品系统没有参考样品。根据基本参数进行量化，结果与生产厂家的预期吻合良好。