映射层厚度变化
该样品，在玻璃基板上的两个电极，是光诱导电解的测试装置。它由沿表面有浓度梯度的双金属单分子层组成。采用磁控溅射法制备了铜铝双靶。
由于x射线可以穿透物质，所以XRF一般可以用来测定层的厚度。使用micro-XRF层分析(厚度和成分)在微米尺度上的空间分辨率是可行的。层析是一种基于原子基本参数的定量分析方法，可通过标准样品进行改进。因此，“普通”层系统，如ENEPIG涂层，ZnNi涂层，或焊料层，这些标准可以随时获得高精度测量，但也可以在研发环境中测试新型层系统。
整个样品面积为5 × 5 cm²，空间分辨率为50µm，每像素测量时间为50 ms。层状元素Al和Cu的元素分布清晰地表现出浓度梯度。
对Si上Cu:Al厚度的地图数据进行了量化，分辨率为5x5 pixel bininning(为层厚分析提供250µm分辨率)。这种新型样品系统没有参考样品。基于基本参数进行量化，结果与制造商的期望吻合良好。