Si底物中的结晶缺陷
xrdi
X射线衍射成像
X射线衍射成像（XRDI，也称为X射线地形）用于在原本完美（或接近完美）底物中成像晶体缺陷。在SI底物制造中，即使在镜像蚀刻之前或直接进行研磨后，都没有样品制备的铸锭载玻片成像。来自铸锭的缺陷图可以指示Boule上的位置，以开始切片以进行好晶圆。由于不需要样品蚀刻，因此减少了生产环境中使用的有害蚀刻酸的量。
生产的瞬时反馈
XRDI也可以用来识别加工后的任何裂缝或在晶圆边缘上滑动，并且添加迷你环境和边缘握把样品处理可以对产品进行最终质量检查。
QCTT工具的完全自动化的性质允许通过SEC/GEM自动提取并自动报告缺陷图，以进行生产的瞬时反馈。
Micro-XRF
Micro-XRF
在大晶体中，大多数缺陷都随晶格常数的变化和 /或晶体方向变化。这些变化将导致微XRF光谱中的bragg峰变化。由于Bruker的Micro-XRF解决方案，它们可以在大区域进行映射。
使用能量分散性微XRF快速晶体域映射
在能量分散性XRF中，布拉格衍射峰通常被认为是干扰荧光信息的麻烦。但是，这些布拉格峰与晶体方向有关，因此提供了有关样品性质的其他信息。在这里，我们描述了如何M4龙卷风可以用来可视化晶体域。该信息对于评估单晶的质量以及多晶材料的特性至关重要。bob综合游戏该原理可用于鉴定单晶的亚谷物不良方向以及多晶样品中的晶体尺寸。
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