硅衬底的结晶缺陷
XRDI
x射线衍射成像
x射线衍射成像(XRDI，也称为x射线形貌成像)是用来成像完美(或接近完美)衬底的晶体缺陷。在硅衬底制造过程中，在没有样品制备的情况下，甚至在镜面蚀刻之前或研磨之后，都可以对锭片进行成像。从钢锭上得到的缺陷图可以指出在圆晶上开始切片的位置。由于不需要样品蚀刻，这减少了在生产环境中使用的有害蚀刻酸的数量。
即时反馈到生产
XRDI还可以用于识别加工后晶圆片边缘的任何裂纹或滑移，并且添加了微型环境和边缘抓样处理，可以对产品进行最终质量检查。
QCTT工具的完全自动化特性允许缺陷图被提取，并通过SECS/GEM自动报告，以实现对生产的即时反馈。
Micro-XRF
Micro-XRF
在大晶体中，大多数缺陷都伴随着晶格常数的变化和/或晶体取向的变化。这些变化将导致微xrf光谱中布拉格峰的变化。由于布鲁克的微型xrf解决方案，它们可以在大范围内进行映射。
能量色散微x射线荧光快速晶体畴映射
在能量色散XRF中，布拉格衍射峰通常被认为是干扰荧光信息的干扰物。然而，这些布拉格峰，因为它们是有关晶体取向，提供了额外的信息，样品的性质。在这里，我们来描述一下M4龙卷风可以用来可视化晶体域。这些信息对于评估单晶的质量以及多晶材料的性质是至关重要的。bob综合游戏该原理可用于识别单晶中的亚晶粒取向错误，以及多晶样品中的晶体尺寸。
