硅中的碳和氧气定量

基于研究系列光谱仪的解决方案：

• 根据ASTM/SEMI MF1391的室温定量Si中替代碳
• 根据ASTM/SEMI MF1188
• 推荐样品特性：0.5 - 2.5毫米的厚度，双面抛光，单晶或多晶
• 低温分析以提高灵敏度至大约
  碳10 ppba
• 可实现的检测极限<400ppba
  

基于低温SI分析仪的冷冻剂解决方案

• 在工业环境中优化了高度敏感的低温SI分析的操作，而无需低温液体bob娱乐平台
• 完全自动化的测量周期和数据评估，包括报告生成
  
• 根据ASTM/半标准同时量化碳，氧气和浅杂质
  
• B，P和单晶Si中的进一步浅杂质的定量至PPTA范围低。
• 量化多硅酸盐或单晶Si中的替代碳降低到低PPBA范围
• 量化多硅酸盐或单晶Si中的间质氧降低到低PPBA范围

基于Sibrickscan Si Ingot分析仪的解决方案：

• 用于量化具有校准的完整硅锭中的间隙氧的专用AT线系统，与ASTM/SEMI 1188标准链接
• 结果，沿硅锭的纵轴氧气浓度曲线结果
• 根据样品形状和特性，可以达到<2ppma的间隙氧检测极限。