由于图案化的蓝宝石衬底的间距低于2微米,其中光学技术无法实现提供有价值的过程计量所需的分辨率,原子力显微镜(AFM)提供精确的解决方案。它们提供亚纳米分辨率和测量所有必要数据的能力,以保持PSS制造过程在控制之下。
傅立叶变换红外发射光谱是分析新型红外光源、激光、led或电致发光的理想工具。研究系列FT-IR光谱仪的最高光谱分辨率允许完全解决激光模式。时间分辨率测量,时间分辨率下降到低ns范围,使单激光脉冲的采集。利用锁相技术的调幅阶跃扫描可以记录非常微弱的发射信号。对于mm或μ m范围内的小发射器,适应于光谱仪研究的红外显微镜同时为发射显微镜提供了出色的横向分辨率和最大的灵敏度。
自行开发的红外探测器可以用布鲁克FT-IR研究光谱仪进行测试和表征。单元素探测器可直接适应研究系列光谱仪的外部光学。对于焦平面阵列(FPA)探测器的特性,可以使用专用的外部测量模块。