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半导体和纳米技术
高级功率(GaN & SiC)
先进的能力
Bruker HRXRD / XRR系统是先进电力系统(如Si和SiC上的GaN)的首选表征系统。它们被用于世界各地的生产线,用于测量薄膜厚度、成分和质量,以确保Bruker客户的高产量。
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GaN on Si功率器件的计量
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x射线衍射成像(XRDI,也称为x射线地形图)和微xrf用于成像和可视化在其他完美(或接近完美)基片上的晶体缺陷。
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