半导体和纳米技术

先进电源(GaN & SiC)

先进的能力

Bruker HRXRD / XRR系统是表征先进电力系统(如GaN on Si和SiC)的首选系统。它们被用于世界各地的生产线，用于测量薄膜厚度、成分和质量，以确保Bruker客户的高产量。

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先进的能力

GaN on Si功率器件的测量

一套完整的测量方法已经被开发用于氮化镓和硅的应用。

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先进的能力

Sic Defectivity

x射线衍射成像(XRDI，也称为x射线地形图)和微xrf用于成像和可视化在其他完美(或接近完美)基片上的晶体缺陷。

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