洞察力" WLI
用于研发和生产的自动化量具计量
突出了
InSight WLI与300mm晶圆处理器
全自动化InSight WLI系统提供了无与伦比的光学表面测量功能，集成了晶片处理程序。InSight WLI为满足最苛刻的研发、质量保证和过程质量控制需求而从头设计，融合了布鲁克专利的尖端/倾斜头、专有的自校准激光基准、集成模式识别和布鲁克专有的其他干涉测量创新。没有其他的计量系统提供非接触精度，吞吐量和操作方便，如此广泛的生产计量和成像应用。
特性
精度和稳健性基准
- 独特的计量传感器设计，专利双led光源
- 自校准，计量优化激光基准
- 一体化隔振地板安装柜
测量与分析
最快、最简单的纳米尺度测量
- 全自动测量功能
- 行业领先的纳米尺度测量仪
最强大的测量和分析
- 流线型的、可定制的生产接口
- 灵活的配方和自动化测量优化
- 广泛的过滤器库和可定制的分析选项
需求配置
配置要求高级封装
- 完成模具平面度和CMP计量解决方案
- TSV和互连测量
- 全十字线模的热点和缺陷检测
工厂自动化准备好了
- 秒/宝石
- S2 / S8兼容
- FDC DCOL可用
应用程序
阅读更多关于WLI计量在使用
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白光干涉法表征CMP过程(4 MB PDF)本应用说明描述了白光干涉术(WLI)为各种CMP组件提供的测量和分析优势。详细研究了CMP过程中晶圆下流体层的粗糙行为，揭示了抛光和调理对垫片的影响，以及晶圆抛光的结果。
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使用非接触式3D光学剖面进行全面的晶圆检测(3 MB PDF)本应用笔记讨论了在半导体封装前端工艺研究和控制的非接触式检测中，3D光学轮廓如何比其他测量技术提供了许多优势。这些优点包括全自动测量和无损检测，定制分析和快速测量速度。
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白光干涉测量表面粗糙度的优点(3 MB PDF)本应用笔记讨论了使用白光干涉法(WLI)光学轮廓仪测量平均粗糙度的方法。介绍了空间滤波器以及ASME B46.1-2009、ISO 13565-1和JIS B 0671-1.3的部分标准要求，介绍了选择WLI的主要技术原因，以及ISO 25178-2全面积测量标准的优点和适用领域。
支持
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我们如何提供帮助?
布鲁克与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系在工具出售后很长一段时间内通过培训和延伸服务持续下去。bob电竞官方网站
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