钝化层
什么是钝化层？
半导体上的钝化层起重要作用，并作为例如保护，电子隔离或反抑制层。Bruker FT-IR研究光谱仪是对此类钝化层进行快速，敏感和无损分析的理想工具。
使用FT-IR进行钝化层分析
各种样品/晶圆持有人可用于透射，反射率或ATR测量模式，以研究不同厚度不同的钝化层。
例如。可以使用合适的校准在IR中部区域对硼隆和磷硅酸盐玻璃（PSG）和硼苯基硅酸盐玻璃（BPSG）进行表征和定量。
研究系列FT-IR光谱仪的专用晶圆映射配件可以自动获取不同样品位置处的反射率和透射光谱。
它可以执行例如同时对BPSG层的厚度评估和定量分析，并已在QC中得到很好的接受。由于布鲁克（Bruker）的创新晶片ATR附件，也可以以最高的敏感性来分析超薄等离子体层，超低k层或单晶硅上的自组装单分子层的超薄层。想知道更多？
