钝化层
什么是钝化层?
在半导体上的钝化层起着重要的作用，如保护、电子隔离或抗反射层。Bruker FT-IR研究光谱仪是快速、灵敏、无损分析钝化层的理想工具。
用FT-IR进行钝化层分析
各种样品/晶圆支架可用于透射率、反射率或ATR测量模式，以研究不同厚度的钝化层。
例如，硼磷磷硅酸盐玻璃(PSG)和硼磷硅酸盐玻璃(BPSG)可以通过中红外区的透射率测量来表征和量化，使用合适的校准。
研究系列FT-IR光谱仪专用的晶圆映射附件，可以自动获取不同样品位置的反射光谱和透射光谱。
该系统可以同时进行BPSG层厚评价和定量分析，在质量管理中得到了广泛的认可。由于Bruker创新的晶圆ATR附件，即使是单晶硅上的超薄层，如SiN等离子体层、超低k层或自组装单分子层，也可以以最高的灵敏度进行分析。想知道更多吗?
