钝化层
什么是钝化层?
半导体上的钝化层起着重要的作用，可作为保护层、电子隔离层或抗反射率层。Bruker FT-IR研究光谱仪是对这种钝化层进行快速、灵敏和无损分析的理想工具。
用FT-IR进行钝化层分析
各种样品/晶片支架可用于透过率、反射率或ATR测量模式，以研究不同厚度的钝化层。
例如，硼磷磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)可以通过在中红外区域的透过率测量，使用适当的校准来表征和量化。
研究系列FT-IR光谱仪的专用晶片映射附件允许在不同的样品位置自动获取反射率和透射率光谱。
它可以同时对BPSG层进行层厚评估和定量分析，在质量控制中得到了良好的认可。得益于Bruker创新的晶片ATR配件，即使是超薄层，如单晶硅等离子体层、超低k层或自组装单分子层，也可以以最高的灵敏度进行分析。想知道更多吗?
