BAW/SAW滤波器的相位和组成

多晶薄膜的相对薄膜的性能至关重要。XRD是一种可以在PZT和其他多晶薄膜上进行测量的成熟技术。使用JVX7300L可以自动确定PZT薄膜的结晶度，并将其映射到衬底上，用于监测生长过程。

JVX7300L还具有一个可选的XRF通道，可以在相同的工具上映射PZT的成分，提高生产率和收率。

JVX系列工具附带SECS-GEM和自动报告作为标准，支持关键流程信息的快速反馈。

钛酸锆铅(PZT)等多晶压电陶瓷薄膜的性能取决于其晶相和微观结构，这些关键参数可以通过x射线衍射(XRD)得到。
XRD是一种非常强大的非破坏性分析技术，用于多晶薄膜和粉末的相识别、定量和微观结构分析。

D8发现和D8提前是Bruker的实验室衍射解决方案，结合了最高的粉末衍射性能和易用性。它们非常适合于研究、工艺开发和生产控制中多晶薄膜的表征。