BAW/SAW滤波器的相位和组成

多晶薄膜的相态是影响薄膜性能的关键因素。XRD是一种可以在PZT和其他多晶薄膜上进行测量的技术。使用JVX7300L可以自动确定PZT薄膜的结晶度，并将其映射到基片上，以监测生长过程。

JVX7300L还具有一个可选的XRF通道，可以在同一工具上映射PZT的组成，提高生产率和产量。

JVX系列工具附带了SECS-GEM和自动化报告作为标准，支持关键流程信息的快速反馈。

钛酸锆铅等多晶压电陶瓷薄膜的性能是由其晶相和微观结构决定的，这些关键参数可通过x射线衍射(XRD)得到。
XRD是一种非常强大的非破坏性分析技术，用于多晶薄膜和粉末的相识别、定量和微观结构分析。

D8发现和D8提前是布鲁克实验室衍射解决方案，结合最高的粉末衍射性能和易用性。它们非常适合用于研究、工艺开发和生产控制等多晶薄膜的表征。