BAW/SAW滤波阶段和组成

多晶膜的相位对性能至关重要。XRD是能够在PZT和其他多晶膜上进行测量的既定技术。通过使用JVX7300L，可以自动确定PZT膜结晶度，并在基板上映射以监测生长过程。

JVX7300L还具有可选的XRF通道，该通道可以在同一工具上绘制PZT的组成，从而提高生产率和产量。

JVX系列工具系列的SECS-GEM和自动报告标准为标准，从而可以快速对关键流程信息进行反馈。

多晶压电陶瓷膜的性能，例如钛钛酸铅（PZT），由其晶体相和微结构确定，可以通过X射线衍射（XRD）访问这些关键参数。
XRD是一种非常强大的非破坏性分析技术，用于多晶膜和粉末的相位识别，定量和微观结构分析。

D8发现和D8前进是Bruker的实验室衍射解决方案，将最高粉末衍射性能与易用性结合在一起。它们非常适合在研究，过程开发和生产控制中表征薄的多晶膜。