BAW/SAW滤波器的相位和组成

多晶薄膜的相对薄膜的性能至关重要。在PZT和其他多晶薄膜上，x射线衍射(XRD)是测量这一特性的常用方法。通过使用JVX7300L，可以自动确定PZT薄膜的结晶度，并将其映射到衬底上，以监测生长过程。

JVX7300L也有一个可选的XRF通道，可以在同一工具上映射PZT的成分，提高生产率和产量。

JVX系列工具以SECS-GEM和自动报告为标准，实现了关键流程信息的快速反馈。

多晶压电陶瓷薄膜，如钛酸铅锆(PZT)的性能是由其晶相和微观结构决定的，这些关键参数可以通过x射线衍射(XRD)获得。
XRD是一种非常强大的无损分析技术，用于多晶薄膜和粉末的相识别、定量和微观结构分析。

D8发现和D8提前Bruker的实验室衍射解决方案，结合了最高的粉末衍射性能和易用性。它们非常适合于多晶薄膜的研究、工艺开发和生产控制的表征。