缺陷和污染

Bruker（先前的Bede和Jordan Valley）是半导体工业中数字X射线衍射成像（XRDI）的先驱，以识别导致晶片破损的杀手缺陷，这一直扩展到识别可能影响基材产量的其他基材中的缺陷和设备。Bruker还为Si和SiC基材提供TXRF系统，用于鉴定基材上的金属污染，对于生产线产量至关重要。对于离线检测，Bruker提供SEM和TEM基础解决方案，包括能量分散X射线光谱（EDS），波长分散X射线光谱（WDS）和电子背散射衍射（EBSD）。