洞察力帽
在线测量的结果在几分钟内，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制
蚀刻和CMP的无损测量
母亲是żniejsze informacje
高性能分析器和AFM在一个紧凑的形式因素
Bruker的Insight Cap自动化原子力分布器专门设计为CMP和半导体制造商和供应商的蚀刻计量学的组合平台。灵活的配置，以支持100 mm至300 mm的晶片尺寸，可实现各种最终应用的精度测量。从高度高效的实验室到全自动化Fabs，Insight Cap Profiler可以最佳地配置为最具成本效益的计量解决方案。
< 0.5海里
长期动态再现性
直接，稳定的在线计量关键工艺决策
亚纳米
自动CMP测量灵敏度
专用的碟形和冲蚀计量套件，用于无与伦比的过程控制和开发
<20nm.
剖面平整度超过26毫米
高精度后cmp平面测量，用于关键的EUV光刻开发和过程控制
Cechy charakterystyczne
在线计量结果在几分钟内，适用于技术开发和过程控制在蚀刻和CMP
在先进的技术节点，多特模式光刻技术将纳米级过程控制要求置于CMP以满足焦点需求。Insight Cap由最新一代AFM扫描仪构建，以提供更好的平坦度，小于10纳米，超过65μmx / y扫描范围。系统的NanoScope®V44位AFM控制器提供5倍的啮合性能和5倍的调整，以提高生产率，并具有增强的可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于更快扫描和改进的计量。凭借高级功能的结合，Insight Cap高分辨率分析器可实现云级精度来测量宏观凹陷和侵蚀。
灵活的配置，以支持100 mm至300 mm的晶片尺寸，可实现各种最终应用的精度测量。从高度高效的实验室到全自动化Fabs，Insight Cap Profiler可以最佳地配置为最具成本效益的计量解决方案。
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支持
我们如何提供帮助?
Bruker与我们的客户合作解决现实世界的应用问题。我们开发下一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种伙伴关系通过培训和扩展服务继续下去，即使在工具售出之后很长时间。bob电竞官方网站
我们训练有素的团队支持工程师，应用科学家和主题专家完全致力于最大化您的生产力与系统服务和升级，以及应用支持和培训。bob电竞官方网站