洞察力帽
在线计量结果在几分钟内，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制
蚀刻和CMP的无损计量
ハイライト
高性能剖面仪和AFM在紧凑的形式因子
布鲁克的InSight CAP自动原子力分析器是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量的组合平台。灵活的配置，支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，为广泛的终端应用提供高精度测量。从高效的实验室到完全自动化的晶圆厂，InSight CAP剖面仪可以优化配置，以获得最具成本效益的计量解决方案。
< 0.5海里
长期动态再现性
直接，稳定的在线计量关键工艺决策
事实上
自动化CMP计量的灵敏度
专用的碟形和侵蚀计量软件包，无与伦比的过程控制和开发
< 20海里
仿形平整度超过26mm
高精度后cmp平面度测量技术，适用于关键的EUV光刻发展和过程控制
特長
在线计量结果在分钟，适用于技术开发和过程控制在蚀刻和CMP
在先进的技术节点上，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足对焦深度的需求。InSight CAP是围绕最新一代AFM扫描仪构建的，可提供更平坦的平面度，小于10纳米，超过65 μm X / Y扫描范围。该系统的NanoScope®V 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调优，以提高生产率，所有这些都具有增强的可靠性。它的DT自适应扫描模式也有助于更快的扫描和改进的计量。通过结合先进的功能，InSight CAP高分辨率剖面仪能够实现埃级精度的宏观碟形和侵蚀测量。
灵活的配置，支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，为广泛的终端应用提供高精度测量。从高效的实验室到完全自动化的晶圆厂，InSight CAP剖面仪可以优化配置，以获得最具成本效益的计量解决方案。
サポート
支持
我们如何提供帮助?
布鲁克与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系在工具出售后很长一段时间内通过培训和延伸服务持续下去。bob电竞官方网站
我们训练有素的支持工程师，应用科学家和主题专家团队完全致力于最大化您的生产力与系统服务和升级，以及应用支持和培训。bob电竞官方网站