晶圆级包装

snag组成

介绍

snag组成

  • 使用SN丰富焊料的小颠簸使UBM选择更为关键
    • 表面张力越来越受润湿性的影响
  • 减小的焊球大小增加表面与体积比
    • 表面张力越来越受润湿性的影响
    • 过去的基于Cu-Cr的UBM不兼容
  • 由于SN的反应速率低,因此需要基于bob综合游戏镍的UBM材料
    • 许多基于NI的UBM堆栈正在使用
  • 电酸性低磷酸盐浴用于镍沉积
    • 如果磷含量高(> 9.5 atm%),则Ni(P)将处于无定形状态
    • 抑制快速的晶界扩散

XRF

UBM和RDL堆栈的XRF数据

  • 典型的UBM和RDL层是多层堆栈:
    • 屏障(或金属下) /散装金属层 /钝化金属层
  • 常见的UBM胶片堆栈变体
    • al/ni/au,al/ni/cu
    • cu/ni/au,cu/ni/pd
    • ti/ni/au,ti/cu/ni/au,ti-w/cu/cu
    • CR/CU/CU,CR/CU/CU/NI

计量学

满足不断发展的计量需求

WLP代表了一个快速增长的市场细分市场,因为需要高密度,高销量,尺寸较小,堆叠和高性能设备。这种增长带来了新的计量挑战,并在颠簸金属化薄膜堆栈下引起了新的挑战。另外,无铅凸起还需要在线控制材料组成。

布鲁克(Bruker)拥有独特的资格,可以通过行业领先的小X射线荧光技术来满足这些不断发展的计量需求。

Micro-XRF

用微XRF分配分析

随着粘结垫的越来越小,沉积的焊料量和空间分布越来越复杂。Micro-XRF允许在几十微米的范围内具有斑点尺寸,以测量键垫上的焊料组合物,至30 µm。当较低的能量线重叠时,组成的确定可能是具有挑战性的。但不能使用Micro-XRF,因为它在确定组成时测量了高能K线。Bruker独特的Micro-XRF解决方案允许研究小区域XtraceSEM的检测器,并调查大型区域M4龙卷风台式Micro-XRF。