晶圆级封装

问题的作文

介绍

问题的作文

  • 使用富锡焊料的小凸起使UBM选择更加关键
    • 表面张力受润湿性的影响越来越大
  • 减小焊锡球尺寸,增加表面与体积比
    • 表面张力受润湿性的影响越来越大
    • 过去的基于cu - cr的UBM是不兼容的
  • 镍基UBM材料因其与锡反应速率低而bob综合游戏受到人们的青睐
    • 许多基于Ni的UBM堆栈正在被使用
  • 化学酸性次磷酸盐镀液用于镍沉积
    • 当磷含量较高(> .;9.5 atm%)时,Ni(P)将处于非晶态
    • 抑制晶界快速扩散

光谱仪

用于UBM和RDL堆栈的XRF数据

  • 典型的UBM和RDL层是多层栈:
    • 屏蔽(或金属下)/大块金属层/钝化金属层
  • 常见的UBM胶片堆栈变化
    • 铝/镍/金、铝/镍/铜
    • 铜/镍/金、铜/镍/ Pd
    • 钛/镍/金、钛/铜/镍/非盟,Ti-W /铜/铜
    • Cr /铜/铜、铬/铜/铜/镍

计量

满足不断发展的计量需求

由于对高密度、高引脚数、小尺寸、堆叠和高性能器件的需求,WLP代表了一个快速增长的细分市场。这种增长带来了新的计量挑战,重新分配和凹凸金属化薄膜堆栈。此外,无铅凸起还需要在线控制材料成分。

Bruker凭借行业领先的小点、高速x射线荧光技术,能够满足这些不断发展的计量需求。

Micro-XRF

用Micro-XRF进行分布分析

随着焊盘尺寸的减小,焊料的沉积量和空间分布的分析越来越复杂。Micro-XRF允许在几十微米范围内的点状尺寸,以测量焊盘上的焊料成分至30 μ m。当低能线有重叠时,成分的确定是有挑战性的。但微x射线荧光光谱却不能,因为它在确定成分时测量了高能量k线。Bruker独特的微型xrf解决方案允许调查小区域XTrace探测器为扫描电镜,并调查大面积M4龙卷风台式micro-XRF。