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外延膜是一种薄的涂层，通常是厚度的NM，通常使用ALD（原子层沉积）应用，其单晶体结构与其底物相关。
外延薄膜构成了现代半导体技术的基础，在处理导致设备性能的急剧变化方面具有微妙的细微差别。准确测量微妙的膜特性的能力至关重要。用XRD的相互空间映射（RSM）是表征薄膜的结构特性的首选技术，因为它能够测量垂直和侧向应变，组成和域效应。
