Películas外延
介绍
外延薄膜
外延薄膜是薄涂层，通常是Nm的厚度，其通常使用与其基材有关的单晶结构的ALD（原子层沉积）施加。
rsm.
INXGA1-XN LED，GaAs和Si1-XGEx外延膜分析
外延薄膜形成了现代半导体技术的基础，在处理中具有微小细微差别，导致设备性能的显着变化。准确测量微妙膜特性的能力至关重要。具有XRD的倒数空间映射（RSM）是用于表征薄膜的结构性能的优选技术，其由于其测量垂直和横向菌株，组成和结构域效应。
外延薄膜是薄涂层，通常是Nm的厚度，其通常使用与其基材有关的单晶结构的ALD（原子层沉积）施加。
外延薄膜形成了现代半导体技术的基础，在处理中具有微小细微差别，导致设备性能的显着变化。准确测量微妙膜特性的能力至关重要。具有XRD的倒数空间映射（RSM）是用于表征薄膜的结构性能的优选技术，其由于其测量垂直和横向菌株，组成和结构域效应。
