涂层和表面细化

外延片

介绍

外延片

外延膜是一种薄涂层，厚度通常为nm，通常使用与衬底相关的单晶结构的原子层沉积(ALD)来应用。

RSM

大面积交互空间映射

InxGa1-xN LED, GaAs和Si1-xGex外延薄膜的分析

外延薄膜是现代半导体技术的基础，其加工过程中的细微差别导致器件性能的巨大变化。准确测量薄膜细微性能的能力是至关重要的。基于XRD的互易空间映射(RSM)是表征薄膜结构性能的首选技术，因为它能够同时测量垂直和横向应变、成分和畴效应。

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