洞察法新社
在线计量
领先铸造厂和内存制造商的首选
集锦
先进过程控制和开发的长期稳定性和生产率
InSight AFP是世界上性能最高、业界首选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。its的组合现代尖端扫描仪凭借固有的稳定电容仪表和精确的空气轴承定位系统，可在模具的活动区域进行无损、直接测量。
艾格森沙夫滕
最高分辨率，尖端寿命最长
InSight AFP的TrueSense®技术，具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以完全自动化监控，具有无与伦比的重复性，无需依赖测试键或模型。这是独一无二的
蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制
Insight AFP结合了原子力显微镜的最新创新，包括Bruker专有的表征侧壁特征和粗糙度的CDM模式。CDmode减少了所需的横截面数量，实现了显著的成本节约。此外，AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。
自动缺陷审查和分类
当今领先集成电路的器件缺陷比以往任何时候都小，需要快速解决HVM需求。InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，允许制造商快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。
100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保所关注的缺陷是测量的缺陷。
该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。
三维模具映射和HyperMap™
分析速度高达36000µm/sec，可实现快速、完整的3D CMP后表征和检查，以获得完整的33 mm x 26 mm闪光场和更大的闪光场。超2 nm的平面外运动，实现真正的大规模地形和全自动抛光后热点检测。
在本例中，以1微米x 1微米像素大小在24小时内获得完整、标准的26 mm x 33 mm十字线场扫描。然后可以使用Bruker的热点检测和审查功能自动检测和重新扫描热点。
安文顿根
支持
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Bruker与我们的客户合作解决实际应用程序问题。我们开发新一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去，直到工具售出很久。bob电竞官方网站
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队致力于通过系统服务和升级以及应用程序支持和培训最大限度地提高您的生产力。bob电竞官方网站