PCRAM厚度和成分
PCRAM厚度和成分
Bruker公司的x射线系统为在线过程监测和材料表征研究和开发提供了解决方案。bob综合游戏无论是新兴存储器的复杂、多元素结构还是更传统的PCRAM结构，我们的系统都提供了精确确定和监测晶相所需的关键信息。
串联组成监测
非常适合监测相变存储器和其他新兴的存储器，这些存储器是复杂的、多元素结构的堆栈，力量的Sirius-RF该工具结合了x射线反射率(XRR)的能力，在一个堆栈中单个层的厚度测量与多源µ- XRF，以确定衬垫和细胞面积的成分和厚度。
例如，该系统用于测量内存元件(GeSbTe - GST)和Ovonic门限开关(OTS, GeAsSe)的组成和厚度，这两个都是关键参数。
Sirius-RF -µ- XRF允许在计量垫或设备区域在线成分监测。快速收敛光束XRR允许厚度测量在1-2秒每点。
GST薄膜相变的原位研究
了解薄膜材料的相变行为对PCRAM器件的发展至关重要。bob综合游戏
Non-ambient x射线衍射允许精确测定晶体相和晶格参数作为温度的函数。
此外，x射线反射法是测定非晶态GST薄膜厚度的最精确的无损方法。
