Sirius-RF.
第四代系统提供行业标准的可靠性
半标题合规性
强调
Sirius-RF
Sirius-RF是成熟平台中的第四代系统，提供行业标准可靠性，易用性，Fab自动化和半标列标准合规性。
收敛梁
XRR
在划线上提供快速，第一原理厚度和密度测量
双重来源
µ光谱仪的配置
为每个设备的不同层提供灵活性和最佳性能
堆栈
测量能力
在计量垫上或直接在设备上以无损方式进行成分和厚度测量
eigenschaften.
Sirius-RF特性
- 在划线上快速、第一性原理测量厚度和密度的聚敛光束XRR
- 双源XRF配置，为每个设备的不同层提供灵活性和最佳性能
- 适用于高级内存(DRAM, PCRAM, 3D-NAND, MRAM)，逻辑，电源设备和封装
- 成分和厚度测量
- 在计量垫或直接导在设备上（非破坏性的方式）
- 堆栈测量能力
Anwendungen
应用示例：PCRAM
- 存储元件(GeSbTe - GST)和Ovonic门限开关(OTS, GeAsSe)的组成和厚度是关键参数
- Sirius-RFμXRF允许在Metrology Pad或设备区域进行在线成分监控
- 快速收敛光束XRR允许厚度测量在每点1-2秒。
支持
支持
我们如何提供帮助?
布鲁克与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系在工具出售后很长一段时间内通过培训和延伸服务持续下去。bob电竞官方网站
我们训练有素的支持工程师，应用科学家和主题专家团队完全致力于最大化您的生产力与系统服务和升级，以及应用支持和培训。bob电竞官方网站