PCRAM厚度和成分

监视相变内存和其他新兴记忆的理想选择，这些记忆是复杂的多元素结构的堆栈，布鲁克的天狼星 - rf工具结合了X射线反射率（XRR）厚度测量的功率，该层在具有多源µXRF的堆栈中单个层的厚度测量，以确定垫和细胞区域上的组成和厚度。

例如，该系统用于测量内存元件（GESBTE -GST）和卵子阈值开关（OTS，GEASSE）的组成和厚度，都是关键参数。

Sirius-RF µXRF允许对计量垫或设备区域的在线组成监视。快速收敛束XRR允许以每点1-2秒为单位的厚度测量。

了解薄膜材料中的相变行为对于PCRAM设备的开发至关重要。bob综合游戏
非镜头X射线衍射允许精确确定晶相和晶格参数随温度的函数。
此外，X射线反射仪是用于测定无定形GST膜的最准确的非破坏性方法。

布鲁克的实验室衍射解决方案，D8发现和D8前进，是支持PCRAM设备的研究和开发的强大XRD工具。