PCRAM的厚度和组成
PCRAM的厚度和组成
布鲁克的x射线系统为在线过程监控和研发材料表征提供解决方案。bob综合游戏无论是新兴存储器的复杂、多元素结构还是更传统的PCRAM结构，我们的系统都提供了精确确定和监控晶相所需的关键信息。
串联组成监测
非常适合监控相变存储器和其他由复杂的多元素结构组成的新兴存储器，力量的Sirius-RF该工具将x射线反射率(XRR)厚度测量与多源XRF相结合，用于确定垫层和细胞面积的成分和厚度。
例如，该系统用于测量存储元件(GeSbTe - GST)和Ovonic门限开关(OTS, GeAsSe)的组成和厚度，这两个参数都是关键参数。
Sirius-RF μ XRF允许在计量垫或设备区域进行在线成分监测。快速收敛光束XRR允许在1-2秒每点厚度测量。
GST薄膜相变的原位研究
了解薄膜材料的相变行为对PCRAM器件的发展至关重要。bob综合游戏
Non-ambient x射线衍射允许精确测定晶体相和晶格参数作为温度的函数。
此外，x射线反射法是测定非晶态GST薄膜厚度最准确的无损方法。
