化合物半导体的x射线计量

拉德软件

能够进行快速准确的XRD测量分析的软件

Bruker RADS是业界最值得信赖的软件,可以模拟和分析单晶衬底外延薄膜结构的高分辨率x射线衍射(HRXRD)数据。它是研发、生产和学术界的首选软件,用于简单和复杂结构的详细分析。

RADS软件为用户提供了多种工具,可以实现精确和快速的XRD测量分析。通过自动计算工艺参数,并立即处理反馈到生产,RADS软件从头开始设计,以改善工艺和产量结果。这种独特的功能组合使RADS自1991年以来成为领先的过程监控和分析软件。

新功能

  • 主题GUI,允许用户选择程序的外观和感觉(Bede, Jordan Valley和两者的混合)
  • 增加了对粘结SOI基板的支持
  • 增强了缺陷散射模型,包括马赛克模型,以及由于离子注入而产生的随机原子位移的影响
  • 允许两个测量数据集,从不同的反射,同时拟合使用一个共同的结构模型
  • 包括显示各种参数的深度剖面的能力,如组成
  • 打印报表可以以HTML、PDF、RTF和各种其他格式创建
  • 改进的批处理能力
  • 支持多核处理器,并能够分配给任何特定的核心/CPU。

规范

  • 采用x射线衍射(Takagi-Taupin)的动力学理论进行精确模拟
  • 使用现代处理器上可用的SSE2/3指令进行快速模拟。模拟和拟合的运行速度将比v3快大约x3-4倍。X在同一台电脑上。
  • 包括专利数据拟合技术,可对多层结构进行可靠的自动化分析
  • 使用电子表格样式的图层列表(包括超晶格)轻松创建模型结构
  • 允许指定任意组成和应变剖面与层参数方程
  • 层参数连接,简化了复杂多层结构的分析
  • 广泛的内置和材料数据库,也可以用户定制bob综合游戏
  • 模型外延非001立方材料,如层(110)和(111)取向衬底;bob综合游戏也支持巴塞尔平面(c平面)定向六角形材料bob综合游戏
  • 模拟现实仪器条件
  • 复杂的科学绘图和输出能力
  • 支持多种数据文件格式(inc. Jordan Valley, Bede, Bruker, PANalytical)
  • 支持将合适的结果写入关系数据库
  • 批量分析多个实验数据文件
  • 提供集成的宏语言和强大的自动化功能
  • 支持Windows XP、Vista和7操作系统