pHEMT表征

HRXRD是测量外延层的良好方法。的力量QCVelox-E在肾上腺素监测领域处于领先地位，广泛应用于化合物半工业。一个关键的应用是监测射频器件中pHEMT结构中的外延层。这些结构包含InGaAs、AlGaAs和GaAs层的组合，单独的组成和厚度对性能至关重要。使用HRXRD可以在几分钟内精确地确定这些参数，并进行全自动测量和RADS分析。

可选配SECS-GEM工厂主机软件和机器人加载，完成系统的自动化。

组成、应变状态和层厚是决定半导体器件(如hemt或激光结构)性能的关键参数。
高分辨率x射线衍射是选择的分析方法，当涉及到确定这些参数的最高精度。

Bruker的XRD旗舰解决方案，D8 DISCOVER系列，配备了领先技术的x射线源和探测器，高分辨率光学和样品台，允许大规模晶圆映射。
的D8发现结合了XRD性能和易用性。自动化的测量和分析程序使其成为研究和工艺开发中半导体异质结构的完美解决方案。