phemt表征

HRXRD是为ePI层的测量而建立的。这Bruker QCVelox-e是EPI监测领域的艺术领导者，广泛应用于复合半产业。一个关键应用是监视用于RF器件的PHEMT结构中的ePI层。这些结构包含InGaAs，AlgaAs和GaAs层的组合，并且各个组成和厚度对性能至关重要。使用HRXRD允许这些参数在几分钟内精确地确定，具有全自动测量和RADS分析。

可选的SEC-GEM工厂主机软件和机器人加载可用于完成系统的自动化。

组成，应变状态和层厚度是确定血管或激光结构等半导体器件的性能的关键参数。
高分辨率X射线衍射是以最高可能的精度确定这些参数的分析方法。

Bruker的XRD旗舰解决方案D8 Discover系列，配备领先的技术X射线源和探测器，高分辨率光学和允许大晶片映射的样本阶段。
这D8发现使用易用性结合XRD性能。自动测量和分析程序使其成为研究和过程开发中半导体异质结构的完美解决方案。