三维光学轮廓术

维科历史酒店

Wyko表面光学轮廓仪是Bruker 3D光学显微镜的遗产

惠科公司

Bruker的3D光学显微镜专业技术来源于Wyko公司在80年代开发的非接触表面光学仿形技术。Wyko是由亚利桑那大学光学科学中心的三位成员于1982创立的。最初的系统设计用于半导体和数据存储行业,Wyko干涉仪成为计量解决方案的领先供应商,使公司能够跟上积极的技术路线图。Wyko仪器通过在整个制造周期内生成精确、一致的定量数据来提高产品产量和产品质量。在计算机硬盘的制造过程中,Wyko系统能够精确测量磁头形状和高度、悬架臂高度和角度以及磁盘纹理和平面度。半导体制造商使用Wyko设备测量倒装芯片和晶圆粗糙度。

Wyko的多项专利在学术研究、工业研发、光学和电信领域开辟了更多的成功市场。他们最畅销的产品包括Ladite激光二极管波前测试仪、IR3红外干涉仪、TOPO-3D光bob娱乐平台学表面轮廓仪、Siris干涉仪和Wyko 6000 Fizeau干涉仪。

维科计量集团

Wyko的成功导致其于1997年被Veeco Instruments Inc.(一家上市公司)收购。Veeco Instruments Inc.将新的非接触光学测量产品与其现有的原子力显微镜、Dektak表面轮廓仪和激光散射计系列相结合,组建了Veeco计量集团。该部门为高速增长的微电子市场(如薄膜磁头和先进半导体器件)以及广泛的工业应用提供表面计量设备。它还支持Veeco Instruments Inc.在精密离子束系统和物理气相沉积系统方面的全球领先地位。bob娱乐平台

在Veeco的领导下,表面轮廓技术继续保持卓越,在专利和操作软件方面领先于表面计量行业。Veeco计量集团专注于创建高端自动化系统,并带来最新的白光干涉仪(WLI)台式仪器的特点。他们开发了最畅销的NT系列光学轮廓仪,用于快速准确地测量精密表面、先进材料和光学、生物材料、MEMS和半导体封装的3D表面高度。Veeco Metrology Group还开发了SP系列全自动非接触式表面测量仪专门用于半导体制造商的光学系统,以及用于数据存储制造商的HD系列干涉仪。bob综合游戏

布鲁克纳米表面

2010年,Veeco决定只专注于LED、太阳能、数据存储和无线市场,并将其计量业务出售给Bruker Corporation。50多年来,Bruker的高性能科学研究仪器和高价值分析解决方案使科学家能够在分子、细胞和微观水平上探索生命和材料。bob综合游戏

如今,Bruker仍然是分子和材料研究以及诊断、工业、临床和应用分析的高性能科学仪器和先进解决方案的领先供应商。凭借汽车/航空航天、高亮度LED、太阳能、半导体和医疗设备市场中用于高级QA/QC和研发精密加工和制造应用的专用仪器,Bruker拥有适合您的应用和预算的bob综合游戏3D光学显微镜解决方案。bob娱乐平台

3D光学计量解决方案:

  • 三维表面测量(用于研发和生产的台式和自动落地式模型):轮廓X-100,轮廓X-200,轮廓X-500,等高线GT-X,轮廓精英X
  • 大规模工业计量bob娱乐平台(用于工业测量的大样本自动化系统):bob娱乐平台NPFLEX
  • 半导体计量学(PCB生产控制的综合测量):轮廓
  • 数据存储计量学(数据存储的过程控制监控):HD9800+